동진쎄미켐. 포토레지스트용 폴리머 특허 취득

동진쎄미켐이 스피로 환형 케탈기를 가지는 포토레지스트용 폴리머 및 이를 포함하는 포토레지스트 조성물에 대한 특허를 최득했다.


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