테스,삼성전자로부터 반도체 식각장비 특허 받아

반도체 장비 업체인 테스가 삼성전자로부터 반도체 제조용 건식 식각 장치와 이를 이용한 식각량 모니터링 장치 등 특허권을 이관받는다.

이를 계기로 테스는 기존 반도체 장비(CVD, ETCH)경쟁력 강화, 반도체와 태양전지 제조장비 개발에 활용, 기술경쟁력과 원가경쟁력 향상을 기할 수 있게 됐다.

전자신문인터넷 이희영기자 hylee@etnews.co.kr