엘티오티베쿰, 반도체 공정 복합건진식펌프 특허 취득

엘티오티베쿰은 루츠로터와 스크루로터 복합건진ㄴ식진공펌프에 관한 특허를 취득했다고 25일 공시했다.

이번 특허는 반도체 및 디스플레이 제조장치의공정 챔버를 진공화시키는 등의 루츠 초어와 스크루 로터 복합건진식 진공펌으에 관한 특허로 엘티오티베쿰은 신규 제품에 적용할 계획이다.

전자신문인터넷 장윤정 기자linda@etnews.co.kr