디엠에스,대면적 마스크 노광장치 특허 취득

디엠에스가 진공을 이용한 대면적 마스크 고정장치 및 그를 이용한 노광장치와 노광방법에 대한 특허를 취득했다.

이 특허는 자외선 경화장치에 있어서, 경화용 마스크를 진공을 이용하여 간편하게 흡입 고정함으로써 작업 공정을 간소화하여 공정시간을 최소화 할 수 있도록 구성하는 기술이다.

디엠에스는 이 기술을 FPD 기판처리장비에 활용할 계획이다.

전자신문인터넷 이희영 기자 hylee@etnews.co.kr