원자력연구원, ISO 품질경영인증 획득

　한국원자력연구원(원장 양명승)은 연구용 원자로 하나로(HANARO)에서 생성된 중성자를 이용해 고품질 실리콘 반도체를 생산하는 중성자핵변환도핑(NTD) 기술이 국제표준화기구(ISO)로부터 품질경영인증(ISO 9001:2000)’을 받았다고 9일 밝혔다.

NTD은 부도체인 고순도의 실리콘 단결정에 중성자를 쪼여 실리콘 원자핵 중 극미량을 인(P)으로 핵변환함으로써 n형 반도체로 변환시키는 기술이다. 이렇게 만들어진 반도체는 실리콘에 인을 직접 확산시키는 일반적인 화학공정보다 인의 분포를 매우 균일하게 할 수 있는 장점이 있다. 고속전철, 자기부상열차, 전기자동차, 풍력발전소 설비 등의 인버터에 사용되는 대전력용 반도체 소자 제조에 이용되고 있다.

원자력연은 지난 2002년 하나로 원자로를 이용해 5인치 NTD 반도체를 생산하는 기술을 상용화한 데 이어, 2005년부터는 6인치 반도체를 생산해 왔다. 현재 프랑스, 네덜란드, 호주, 벨기에, 독일, 미국, 일본 등의 10여 개 연구용 원자로에 NTD 반도체를 공급하고 있다.

임인철 하나로운영부장은 “올해 말 상용화를 목표로 8인치 단결정을 이용한 반도체 생산을 시험 중”이라며 “NTD의 기술 수준 및 품질 관리, 운영 능력에서 국제적으로 신뢰도를 공인받게 됐다”고 말했다.

대전=박희범기자@전자신문, hbpark@