유니테스트, 멤스 프로브카드 독자 개발

　반도체 장비 전문업체인 유니테스트가 메모리 반도체 웨이퍼 검사장치인 멤스(MEMS) 프로브카드를 상용 개발하는데 성공했다. 이에 따라 그동안 미국 폼팩터와 국내 업체인 파이컴이 장악해왔던 국내 반도체용 프로브카드 시장에서 본격적인 경쟁구도가 펼쳐질 전망이다.

반도체 검사장비 전문업체인 유니테스트(대표 김종현, www-test.com)는 독자 기술로 멤스 프로브카드를 개발 완료하고, 최근 하이닉스반도체로부터 인증을 획득했다고 17일 밝혔다. 올 하반기부터는 하이닉스를 시작으로 멤스 프로브카드를 양산 공급할 예정이다. 프로브카드는 웨이퍼를 칩으로 완성한뒤 절단하기전 반도체의 기능과 성능을 검사하는 장치로, 과거 탐침 방식에서 최근에는 멤스 기술을 적용한 제품으로 진화했다.

유니테스트는 주력 사업인 반도체 후공정용 메모리 모듈 및 컴포넌트 검사장비에 이어 웨이퍼 공정용 멤스 프로브카드까지 갖춤으로써 반도체 검사장비 사업을 한층 다각화할 수 있게 됐다. 김종현 사장은 “이번에 개발한 프로브카드는 멤스 카드 전문회사를 인수한뒤 지난 3년간 품질과 성능 확보에 총력을 쏟아 거둔 첫 결실”이라며 “특히 현재 검사장비를 뒷받침하는 고속 웨이퍼 테스터로 성능을 한층 배가시켜 갈 계획”이라고 말했다.

서한기자 hseo@