관련 통계자료 다운로드 업체별 나노종합팹센터 활용실적 “보통 일주일은 족히 걸리는 ‘LED 투과전자현미경(TEM) 분석’을 2일만에 해주시다니, 놀라울 뿐입니다. 휴일도 잊고 이번 작업을 처리해주신 특성평가팀께 감사의 말씀 전합니다.”
이희철 나노종합팹센터 소장은 최근 이같은 내용의 이메일 한 통을 받았다. 발신인은 효성 계열의 LED용 에피웨이퍼 제조업체인 에피플러스의 최원진 상무(연구소장). ‘시급을 다투는 건’이라는 단서와 함께 최 상무가 TEM분석용 시료 2개를 센터 측에 넘긴 것은 지난 10일.
센터내 특성평가팀의 양준보·유정호 박사팀는 즉시 분석작업에 착수했다. 시료 한 개에 대한 평가 데이터는 바로 당일, 나머지 하나는 이틀 후인 12일에 각각 에피플러스 측에 넘겼다. 석가탄신일이 낀 황금연휴를 고스란히 날렸다.
최 상무는 “화합물반도체 분야에만 21년째 몸담고 있지만 이렇게 빠른 TEM분석은 처음이다”고 말했다.
나노종합팹센터가 ‘기업친화형’으로 변신했다. 특히 3년앞으로 다가온 정부 지원 종료 시한을 감안, 센터는 일선 업체를 상대로 한 각종 서비스의 품질과 응대시간 제고로 자생력을 확보한다는 전략이다.
센터가 업체나 각급 연구기관에 제공하는 팹서비스는 설립 첫 해인 2005년 1702건에서 지난해에는 5871건으로 늘었다.
실제로 센터는 삼성전자와 공동으로 20nm급 나노와이어를 활용, 180nm급 3차원 트랜지스터를 공동 개발중이다. 주성엔지니어링과는 탄소나노튜브 증착장비와 성장 프로세스의 공동개발을 완료한 상태다. 미국 벤처기업인 비상(Besang)과 함께 ‘3차원 버티컬 플래시메모리 상용화 기술’을 연구한다.
이희철 소장은 “연구지원기관의 가장 큰 덕목은 ‘품질’과 ‘시간’”이라며 “최근 들어 분석의뢰가 많이 들어와 주간에만 근무하는 방식을 개선, 야간과 주말에도 의뢰업체의 분석작업을 총력 지원한다”고 말했다.
류경동기자@전자신문, ninano@
