박막 식각장비 전문업체인 이노루트(대표 이기정)는 최근 2세대 LCD 패널공정에 적용될 수 있는 0.015㎜(15㎛) 초막박 유리기판 가공기술을 세계 처음 선보였다고 21일 밝혔다. 0.015㎜는 신문용지 두께의 5분의 1에 해당하는 것으로, 기존 2세대 유리기판 두께인 0.5㎜에 비해서도 100분의 3 수준이다. 이에 앞서 이노루트는 올초 5세대 유리기판도 현재 1.4㎜의 두께를 0.17㎜까지 줄일 수 있는 공정기술을 선보였다.
특히 이노루트가 개발한 박막 가공기술은 통상 식각액으로 쓰이는 맹독성 불산을 사용하지 않고 독자 개발한 친환경 정밀화학 약품을 적용, 갈수록 거세지는 환경 규제에도 적극 대응할 수 있다. 일반적으로 박막 제조기술은 유리기판이 대형화할수록 구현하기 어려우며, LCD 패널에 공기중 수분 등 이물질이 유입되는 것을 막기 위해 유리기판의 덮개용 유리로도 활용될 수 있다.
이노루트는 이번 초막박 유리기판 가공기술을 최근 열린 ‘2008 도쿄 평판디스플레이 박람회’에 출품, 일본 LCD 업계로부터 이목을 집중시키기도 햇다. 이 회사는 최근 삼성코닝정밀유리에 박막 유리기판 시제품을 공급한데 이어, 이번 전시회를 통해 일본 아사히글라스측으로부터 샘플 제품을 주문받았다. 이노루트는 세계적인 LCD 유리기판 장비업체인 일본 ‘나칸’과 제휴를 맺고 올해부터 본격적인 해외 진출을 추진중이다.
서한기자 hseo@
