제일모직, 캐보트사와 특허 분쟁­

　제일모직이 반도체 연마용장치(CMP) ‘슬러리’ 시장 선두업체인 미국 ‘캐보트 마이크로일렉트로닉스’사와 특허 분쟁에 휩싸였다.

14일 업계에 따르면 미국 캐보트사는 제일모직을 상대로 자사가 보유한 텅스텐층 반도체 CMP 슬러리 기술의 특허권을 침해했다며 서울중앙지법에 민사소송을 제기, 지난해말부터 지금까지 두차례에 걸쳐 법정 청문을 실시했다. 이에 앞서 캐보트는 지난해 7월 반도체 CMP 슬러리 기술을 특허청에 등록했으며, 그 직후인 8월에는 제일모직이 특허심판원에 특허무효심판청구를 제기해 지리한 법정 공방에 들어갔다. 텅스텐층 반도체 CMP 슬러리는 반도체 회로를 구성하기 위해 웨이퍼를 평탄화하는 재료로 미세공법이 진척될수록 필수공정으로 인식되는 핵심 소재 기술이다. 제일모직은 신소재 사업에 본격 진출한 지난 2003년부터 계열사인 삼성전자를 통해 CMP용 슬러리 시장에 진입했다.

캐보트 한국지사 김봉호 사장은 “제일모직이 지난 2006년 미국 국제무역위원회(ITC)의 특허 소송을 통해 현지 시장에 진출하지 않기로 약속했으나, 유독 국내에선 포기하지 않는다”라고 주장했다.

제일모직은 캐보트의 특허권을 침해한 사실이 없으며, 향후 법정 소송을 통해 그 여부가 판가름날 것이라고 밝혔다. 제일모직 관계자는 “미국이나 유럽에도 실제 판매하려 한 적이 없을 뿐, 특허권을 이유로 CMP 슬러리 사업을 포기한 것이 아니다”고 강조했다.

서한기자@전자신문, hseo@