반도체 소부장

코닉시스템, 레이저어닐링 특허취득

코닉시스템은 레이저어닐링 장비에 관한 특허를 취득했다고 11일 공시했다.

해당기술은 유리기판 전영역에 대해 일정하게 열처리를 행할 수 있으며 레이저를 원하는 방향으로 조사할 수 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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