주성엔지니어링은 서셉터 구조물에 대한 특허를 취득했다고 27일 공시했다.
해당 특허는 액정표시장치용 공정 모듈에 관한 것으로, 고온 환경에서도 대면적 투명기판을 신뢰성있게 지지할 수 있는 서셉터 구조물을 제공한다.
전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr
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