동일기연(대표 손동준 www.dongiltech.co.kr)은 압전 세라믹 기술을 이용, 국내 최초로 반도체나 LCD 라인에서 발생하는 정전기를 중화하는 정전기 제거 장치 ‘SF-40A’ <사진>를 개발, 출시했다고 15일 밝혔다.
정전기 제거장치는 고주파형 압전 트랜스를 이용, 이온을 발생시켜 정전기 발생에 의한 제품 불량을 최소화해주는 것으로 SF-40A는 이전 제품과 비교해 신개념의 고주파 발생방식(50㎑)을 적용, 이온 발생량을 1000배 가까이 확대해 정전기 제거 효과를 극대화했다. 또 제품을 박막화한 세계 최소형이어서 설치 공간을 줄일 수 있도록 했다.
‘SF-40A’는 반도체 및 소형 LCD 생산 공정에서 IC를 부착하는 공정과 모듈 조립 공정에서 최적의 성능을 지원한다.
MF-90 시리즈는 반도체나 LCD의 드라이 공정이나 스핀코팅 공정 이후에 웨이퍼나 LCD에 발생할 수 있는 정전기를 제거하는 데 사용되며 MB-G/P 시리즈 제품은 기존 코일형 트랜스를 사용한 크고 무거운 제품과 달리 박막화 및 경량화 시킴으로써 설치 및 이동이 용이하다.
특히 규격이 정해져 있는 타사 제품과 달리 이온 발생 팬의 설치 개수와 설치 길이를 고객 요구에 따라 다양하게 제작이 가능하다.
이 회사의 한 관계자는 “오는 2011년까지 국내 시장에서 70% 이상의 시장 점유율을 차지하는 게 목표”라며 “이미 반도체 일부 기업에 제품을 공급했으며 LCD 기업과도 제품 테스트를 진행중”이라고 밝혔다.
반도체나 LCD, 필름, 전자 부품 제조 공정에 적용되는 정전기 제거 장비 국내 시장 규모는 연 300억원 규모로 심코, 이온시스템, 케엔스, 휴글 등 해외 기업이 80%의 이상의 시장 점유율을 기록해왔다.
동일기연은 압전세라믹 기술을 기반으로 정전기 방지 필터, 정전기 제거 장치, 초음파 센서 등을 개발, 공급해왔다.
유형준기자@전자신문, hjyoo@
