[IMID 2007]장비 출품작-세메스

　반도체 및 디스플레이 제조 장비업체인 세메스(대표 이승환 www.semes.com)는 현재 양산중인 8세대 인라인 에처스트립퍼와 포토 풀라인 제품 등을 출품했다.

　인라인 에처스트립퍼는 LCD 유리기판 표면에 패턴(미세회로)을 형성하기 위해 식각을 하고, 또 남아 있는 포토레지스트(감광액) 잔류물까지 초음파·고압 스프레이 방식으로 제거하는 일괄공정 장비다. 특히 이 제품은 글라스 표면의 감광액은 물론 미세 유기물까지도 완벽하게 제거하는 한편 차세대 공정에서 요구하는 식각 균일도를 높였다고 회사측은 설명했다.

　포토 풀 라인 제품인 슬리트 코터는 감광액 도포 균일도를 일정하게 유지하면서도 감광액 소모량을 기존 스핀코터에 비해 크게 줄였다.

　디벨로퍼는 더블 암스 반송 방식을 적용, 생산성을 높이고 공정 안정화를 실현했다. 세정기로는 PFC 세정기와 면취후 세정기가 있으며, LCD모듈 제품군으로 실리콘 디스펜서, OLB, PCB 등이 있다.

　이승환 세메스 사장은 “향후 파급효과가 큰 LCD 메이저장비 시장에 진출, 토털 솔루션 장비업체로 도약할 계획”이라며 “현재 LCD장비뿐 만 아니라 유기발광다이오드(OLED) 증착장비도 개발하는 등 차세대 평판디스플레이 장비 시장 공략에도 적극 나서 글로벌 디스플레이 장비업체로 도약할 것”이라고 밝혔다.

　지난해 순수장비 매출 2465억원을 기록한 세메스는 디스플레이 부문과 반도체 장비를 합쳐 올해 총 3000억원의 매출을 달성할 계획이다.

심규호기자@전자신문, khsim@