유니셈, 칠러 팽창밸브 제어 기술 특허

　유니셈(대표 김형균 www.unisem.co.kr)은 ‘칠러 장치의 전자식 팽창밸브 제어 방법’에 관한 특허를 취득했다고 20일 밝혔다.

　이번 특허는 전자식 팽창 밸브에 허용되는 신호출력을 단계별로 균등 분할하는 기술로, 기존 유니셈이 생산하는 장비의 품질 및 성능 개선에 활용될 예정이다.

　칠러(Chiller)는 반도체 제조공정 중 화학적 또는 물리적인 식각 공정에서 챔버 내의 열을 제어해 양질의 웨이퍼가 생산될 수 있도록 하는 자동 온·습도 조절 장치다.

심규호기자@전자신문, khsim@