뉴영엠테크(대표 장정훈, 이광준 www.nymtech.com)는 생산성을 2배 높인 300㎜ 반도체 웨이퍼 제조용 급속 열처리 장비<사진>를 개발했다고 8일 밝혔다.
이번에 개발한 300㎜ 장비는 세계 최초로 4개의 챔버를 채택해 2개의 챔버를 갖춘 기존 국내외 장비보다 생산성이 1.8배 향상된 것이 특징이다. 또 독자기술로 개발한 원형 모양의 할로겐 램프 등을 도입해 300㎜ 대면적 웨이퍼의 온도 균일성 유지에 뛰어나며, 60um이하의 초미세 공정까지 대응할 수 있도록 설계됐다.
급속 열처리 장비는 화학기상증착기(CVD), 스퍼터, 인프란트 등 증착장비에서 웨이퍼에 금속 및 화학 박막을 입힌 뒤 박막의 특성을 형성하기 위해 열처리를 해주는 전공정 핵심장비다.
뉴영엠테크는 지난 2000년 200㎜ 급속 열처리 장비를 개발해 국내 주요 반도체업체에 공급중이다.
뉴영엠테크 성노영 상무는 “4개 챔버를 처음 도입하면서 D램 등 반도체 제조공정의 최대 경쟁력인 생산성을 극대화할 수 있게 됐다”며 “내년부터 반도체 양산라인에 공급해 연간 150억원 안팎의 매출을 올릴 계획”이라고 말했다.
뉴영엠테크는 현재 반도체 급속 열처리 장비와 별도로 LCD 8세대 생산라인 급속 열처리 장비도 개발 완료한 상태다.
장지영기자@전자신문, jyajang@
