LG전자, 산화물 TFT OLED 개발

　LG전자는 산화물(Oxide) 박막트렌지스터(TFT)를 이용한 유기발광다이오드(OLED) 패널 시제품을 개발했다고 3일 밝혔다.

　시제품은 3.5인치 크기로 그동안 개발한 시제품 가운데 가장 높은 176×220의 해상도를 구현했다.

　산화물 TFT OLED는 한국과 일본이 기술 개발경쟁을 펼치고 있으며, 지금까지 시제품을 개발한 곳은 일본 고찌대학, ETRI 등에 불과하다.

　산화물을 이용한 TFT OLED 패널 생산공정은 기존의 실리콘을 이용한 것보다 제조공정이 단순해 제조원가를 크게 낮출 수 있는 차세대 기술로 꼽히고 있다. 산화물 TFT는 비정질 실리콘(a-Si)의 장점인 전압 균일도와 저온폴리실리콘(LTPS)의 장점인 높은 전자 이동도를 구현할 수 있어 패널 수명 향상과 고해상도에 유리하다. 다만 실리콘 TFT에 비해 아직 소자의 신뢰성이 떨어지는게 흠이다.

　LG전자 이호년 박사는 “실리콘 대신 산화물에 반도체층을 증착하면 PE-CVD(화학기상증착기)와 같은 고온 증착공정을 하지 않고도 상온에서 바로 스퍼터로 박막을 증착할 수 있는 등 기존 실리콘 생산라인의 설비투자비를 크게 줄일 수 있을 것”이라며 “산화물 TFT 소자의 신뢰성을 지속적으로 높이면 향후 5년내 양산 단계에 진입할 수 있을 전망”이라고 말했다.

　장지영기자@전자신문, jyajang@