관련 통계자료 다운로드 국산장비 채택 비중 ‘노광분야-여전히 난제, 에처·CVD·메인테스터분야-국산대체 시동, 원자층증착장비(ALD)·애셔·번인테스터분야-시장 주도’
국산 반도체장비의 현주소를 살펴보기 위해 본지가 관련업계의 협조를 얻어 국산화 수준 및 실제 라인 채택 현황을 분석한 결과 이같이 나타났다.
이 번 조사에서 ALD·애셔·번인테스터·핸들러·세정장비 등은 이미 국산장비가 국내 팹에 50% 이상 채택돼 국산대체에 성공을 거두고 있는 것으로 드러났다. 표 참조
장비업계 한 CEO는 “삼성전자·하이닉스반도체 등은 우선 시장규모가 커 국산화 대체효과가 높은 장비를 중심으로, 협력업체와 공동개발협약(JDP)를 맺고 국산화를 진행해 왔다”며 “ALD·번인테스터 등 이미 일부 장비는 국산이 세계시장을 주도하는 성과를 나타내고 있다”고 설명했다.
기술적으로 선진장비 수준에 근접해 있어 전략적으로 집중 채택해야 하는 분야(국산 대체 본격화)는 에처·CVD·메인테스터·CMP(화학기계적연마) 등으로 서서히 국산 채택비중이 늘고 있는 것으로 조사됐다.
특히 삼성전자와 하이닉스반도체는 올해만도 각각 19건과 13건의 국산장비 공동개발프로젝트를 협력업체들과 진행하고 있는 것으로 파악돼, 장비 국산화 및 국내 팹 채택이 한층 가속화될 것으로 기대된다.
그러나 스캐너와 이온주입 포토레지스트(IIP) 등을 비롯한 노광분야는 사실상 국산이 전무한 상태인 것으로 나타났다.
심규호기자@전자신문, khsim@
