서울대 최만수 교수 연구팀, 기체이용 나노소자 대량생산 기술 개발

기체를 이용해 나노소자를 대량으로 생산할 수 있는 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

　서울대학교 기계항공공학부 최만수 교수(서울대 나노입자제어기술연구단장)는 나노입자를 배열해 소자로 만드는 ‘병렬식 나노입자 패터닝’ 기술을 개발했다고 29일 밝혔다.

　나노소자는 분자 하나하나에 정보를 저장하는 소자로 나노소자를 만들기 위해서는 나노입자를 원하는 위치에 정확하게 배열해야한다.

기존 나노소자 생산 방식에서는 액체상태의 콜로이드를 이용, 나노입자를 배열했는데 액체에 불순물이 들어가고 배열이 정교하지 못한 단점이 있어 대량 생산이 불가능했다.

최만수 교수 연구팀은 이러한 단점을 보완해 액체 대신 기체 상태인 에어로졸을 나노입자 배열에 사용하는 새로운 방식을 채택했다. 에어로졸 나노입자를 이온과 함께 뿌리면 기판표면 위에 이온이 쌓이면서 생겨나는 정전기가 나노입자를 모아 원하는 위치에 빠른 속도로 나노입자를 배열해준다.

최 교수 연구팀은 이 기술로 나노소자의 대량 생산이 가능해졌으며 기존 반도체 공정에 그대로 적용가능해 산업현장에서 즉시 활용이 가능할 것으로 내다봤다.

설성인기자@전자신문, siseol@