[아이세덱스2006]반도체기술대상-국무총리상: 성원에드워드 김중조 회장

　김중조 성원에드워드 회장은 TFT LCD 공정과 빠른 배기 특성을 요구하는 반도체 전공정 장비의 리드락 챔버용 건식 진공 펌프로 국무총리상을 수상했다.

　이 제품은 생산성 증대를 위한 짧은 배기 시간 구현에 적합한 대용량 건식 진공 펌프로 대용량 스크루 펌프에 대한 수입대체 효과와 함께 국내 생산을 통해 기초 기술을 확보했고 관련 부품 업체의 기술 수준을 높이는 데 기여했다.

　이 제품은 소용량 펌프를 사용할 때 필요한 펌프 수량에 비해 적은 수량을 사용할 수 있어 클린룸 내 풋프린트를 절감하며 부스터 펌프와 건식 진공 펌프를 독립적으로 설치할 수 있는 모듈 방식이라 진공 시스템을 가변적으로 설치할 수 있다. 자기 진단 예지 기능도 장점.