[나노코리아 2006]출품 연구기관-포항나노기술집적센터

포항나노기술집적센터(센터장 정윤하 http://www.nano.or.kr)는 반도체·디스플레이용 전자부품소재 등 나노 소재·재료분야 연구개발과 산업화를 지원하기 위해 설립된 기관으로 첨단 공정 장비를 갖추고 중소기업의 나노 소재 연구개발 및 신뢰성 평가를 지원하고 있다.

　산업자원부 ‘나노기술클러스터조성사업’의 일환으로 포항공과대학교 주관으로 구축됐으며 2004년부터 2008년까지 총사업비 1100억원을 투입, 첨단 나노소재·재료를 개발할 수 있는 나노인프라를 구축하고 있다. 지난달 주요 시설물의 건축을 완료함에 따라 첨단장비의 설치를 시작해 10월부터 시범서비스를 거쳐 내년 1월 본격 서비스를 시작할 예정이다.

　이 센터의 주요 기능은 나노소재·재료분야의 R&D 지원과 성능평가 지원, 상용화 지원이다. 특히 차세대 45㎚ 노드 기술 이후의 반도체 재료를 개발하고 32㎚ 이하의 극자외선노광기술(EUVL)을 이용해 차세대 반도체 소재 개발에 집중할 계획이다.

　또 포항가속기연구소의 빔을 활용해 LIGA 기술을 결합한 NEMS 기술을 개발하고 OLED 재료와 나노잉크를 개발하는 등 차세대 나노소재 개발의 메카로 자리잡는다는 목표다.

　한편 포항나노기술집적센터는 최근 센터 내에 일본 지올 및 프랑스 카메카와 공동으로 ‘국제원자전자현미경센터’를 개소, 0.1㎚ 이하의 해상도를 지닌 구면수차보정 전자현미경과 3차원 원자탐침분석기를 도입했다.

　물질의 표면분석과 원자배열 상태를 3차원적으로 분석하는 세계 수준의 측정분석 능력을 갖췄다.

　이 센터는 향후 나노소재·재료분야의 연구개발, 표준화 및 인증·평가 지원 등 국내 산·학·연 연구개발 지원센터로서의 허브 역할이 기대된다.