[IMID/IDMC 2006]소재·장비-아바코

　아바코(대표 배종오 송효선 http://www.avaco.co.kr)는 올해 IMID에 FPD 주요 공정 장비인 박막증착장비 등의 진공 장비 및 클린 반송 설비를 선보인다.

아바코는 설립 이후 LCD 공정 핵심 장비 개발에 주력해 왔으며 최근 LG필립스LCD 및 LG생산기술원과 공동으로 7세대 LCD 제조용 박막증착장비를 개발, 국내 LCD 소자업체 양산라인에 공급할 예정이다.

이 설비는 유리 기판을 이동할 때는 수직으로 세워서 이동시키고 박막을 코팅할 때는 정지하는 형식으로 기존의 인라인 방식과 클러스터 장비의 장점만을 적용했다. 또 유리 기판을 장착한 캐리어가 이동중 박막에 막대한 영향을 미칠 수 있는 파티클 발생을 최소화하기 위한 특별한 구조를 채택했다.

수십 초에 한 장씩 대형 유리가 생산돼 기존 장비에 비해 생산성이 높으면서도 코팅되는 박막의 막질은 기존의 일본 및 독일 장비와 동등하다. 특히 후공정 프로세스에 변화를 주지 않아도 된다는 장점이 있다.

또 아바코는 연성 필름을 롤에 장착, 연속 프로세스를 통해 필름에 박막을 증착하는 롤투롤 스퍼터와 전자파차폐를 위해 기판에 구리·은 등의 각종 금속을 증착하는 EMI 스퍼터 등도 함께 소개할 예정이다.

이와 함께 유리 기판이 탑재된 카세트를 수평 이송하는 트랜스퍼 시스템과 이를 적재하는 스토커, 스토커에 카세트를 공급하는 카세트 트랜스퍼 로봇 시스템 등 이송 시스템 제품도 함께 선보인다.

세정이 완료된 LCD 패널의 상하 표면에 편광판을 자동으로 부착하는 LCD 편광필름 부착기와 PDP 패널을 에이징하기 위한 적재공간과 패널 냉각 유닛, 물류 컨베이어를 포함하는 PDP 패널 에이징 시스템도 함께 전시될 예정이다. 카세트에 적재된 LCD 원판 유리를 한 장씩 공급해 일정크기의 스틱 패널로 분리, 배출부 스틱 카세트에 적재하는 스크라이버·브레이커 등의 장비는 일관화된 자동 시스템을 자랑한다. 이번 전시회엔 아바코의 협력 파트너사인 독일 엘리노 배기·합착·가스 주입 설비도 함께 선보인다.