[창간23주년 특집Ⅲ-블루오션]FPD·나노장비: 주성엔지니어링

　주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 8세대 LCD용 플라즈마 화학기상증착(PE CVD) 장비를 개발, 세계 시장에서 선두업체들과 어깨를 나란히 하고 있다. 주성이 개발한 인라인 타입의 8세대 PE CVD 장비는 기존 원형 클러스터 타입보다 대폭 커진 기판을 처리하기에 적합한 새로운 플라즈마 기술을 사용해 우수한 막 증착이 가능하다.

　이뿐 아니라 주성의 독창적인 설계기법을 적용해 체임버 크기 증대에 따른 유리기판 처리속도가 낮아지는 문제를 경쟁사보다 더욱 많은 10개의 공정 체임버를 부착할 수 있도록 시스템을 구성해 생산성을 약 2배로 증가시켰다.

　8세대 글라스 월 6만장을 생산하는 LCD 생산라인의 경우 주성의 인라인 형태의 장비를 사용했을 때 4대의 장비만 필요하지만 클러스터 타입 장비는 그 2배에 해당하는 8대가 필요하다. 또 각 공정 체임버의 조합이 쉬워 고객사 생산현장의 상황에 맞게 시스템을 구성해 설치할 수 있는 장점을 갖추고 있다.

　주성 측은 지난해 1월 7∼8세대 장비의 개발을 완료한 이후 지속적인 추가 작업을 진행해 왔고 일본 샤프사가 본 크기를 자사의 8세대 사이즈로 정하고 투자를 예정하고 있다고 밝히며 경쟁사보다 앞선 주성의 신속한 개발능력 및 TFT LCD 전 세대에 걸친 주성의 대응력을 강조했다.

　이 회사는 ‘2007년 LCD용 플라즈마 화학기상증착 장비시장 세계 1위. 2009년 반도체·디스플레이 전공정장비 시장 세계 1위’라는 목표를 세워 놓고 있다.