[창간23주년 특집Ⅲ-블루오션]FPD·나노장비: 뉴파워프라즈마

　뉴파워프라즈마(대표 최대규 http://www.newpower.co.kr)는 지난 1993년 설립 이래 국내 플라즈마 관련 기술 및 장비 분야를 개척해 왔다. 이 회사는 지난 1997년 반도체 웨이퍼 및 LCD 표면 가공, 화학기상증착(CVD)·스퍼터링 공정 등에 필수적인 플라즈마 발생 장치 RF제너레이터의 국산화에 성공했으며 이후 매칭네트워크·플라즈마 클리너 등 관련 장비를 잇달아 국산화했다.

　반도체·LCD 공정에 세정용으로 쓰이는 PFC 계열의 유해 잔류 가스를 세정하는 리모트 플라즈마 제너레이터와 유해 가스를 분해하는 드라이스크러버 등 친환경 제품도 내놓았다. 특히 리모트 플라즈마 제너레이터는 지난 2003년 ‘10대 신기술 제품’으로 선정된 바 있으며 현재 국내 시장점유율 1위, 세계 시장점유율 2위를 기록하고 있다.

　최대규 사장은 “플라즈마 기술은 나노 수준의 정밀 가공이 가능하고 환경 문제도 없는 차세대 기술”이라며 “척박한 환경에서 플라즈마 연구를 시작, 국산화와 해외 진출의 성과를 나타내고 있다”고 말했다.

　뉴파워프라즈마는 창립 초기 플라즈마를 발생시키는 RF제너레이터와 매칭네트워크 등 플라즈마 소스 기술에서 출발, 플라즈마를 이용해 세정 작업을 하는 리모트 플라즈마 제너레이터로 확장했다. 또 최근 플라즈마 기술을 바탕으로 반도체 전공정에서 사용 후 감광액을 제거하는 300㎜ 애셔 장비를 개발, 장비시장에 발을 들였다. 이를 통해 소스에서 부분 유닛, 장비에 이르는 종합 플라즈마 솔루션을 구축한다는 계획이다.