LCD 및 반도체 전공정 장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)은 이번 IMID에 자사의 8세대 LCD용 PE CVD장치로 증착한 8세대 유리기판(2160×2400:42인치 와이드TV 8대 제조 가능 크기)을 전시한다.
경기도 광주 본사에 설치돼 있는 8세대 장치를 전시장으로 직접 가져오기 어려워 유리글라스만 전시키로 했다. 이를 통해 기술력을 고객들에게 설명하게 된다.
주성이 개발한 인라인 타입의 8세대 PE CVD장치는 기존 원형 클러스터 타입보다 대폭 커진 기판을 처리하기에 적합한 새로운 플라즈마 기술을 사용해 우수한 막증착이 가능하다. 뿐만 아니라 주성의 독창적인 설계기법을 적용하여 체임버 크기 증대에 따른 유리기판 처리속도가 낮아지는 문제를 경쟁사보다 더욱 많은 10개의 공정 체임버를 부착할 수 있도록 시스템을 구성하여 생산성을 약 2배로 증가시켰다.
8세대 글라스 월 6만장을 생산하는 LCD 생산라인의 경우 주성의 인라인 형태의 장치를 사용했을 경우 4대의 장치만 필요하지만 클러스터 타입장치는 그 2배에 해당하는 8대가 필요하다. 또 각 공정 챔버의 조합이 용이해 고객사 생산현장의 상황에 맞게 시스템을 구성하여 설치할 수 있는 장점을 갖추고 있다.
주성 측은 지난해 1월 7∼8세대 장치의 개발을 완료한 이후 지속적인 추가 작업을 진행해 왔고 일본 샤프사가 본 크기를 자사의 8세대 사이즈로 정하고 투자를 예정하고 있다고 밝히며 경쟁사보다 앞선 주성의 신속한 개발 능력 및 TFT LCD 전 세대에 걸친 주성의 대응력을 강조했다.
