주성엔지니어링·디이엔티, 특허 취득

주성엔지니어링(대표 황철주)은 박막증착방법 및 장치에 관한 특허를 획득했다고 16일 밝혔다. 이 특허는 고온에서 분해되는 특정 가스물질이 반응가스로 사용될 경우, 박막의 순도 및 특성에 영향을 주지 않으면서 생산성을 크게 증대시킬 수 있는 박막증착방법과 이를 가능하게 하는 박막증착장치 개발에 필요한 기술로, 증착장비의 생산성 향상에 크게 기여할 것으로 기대된다고 주성 측은 설명했다.

디이엔티(대표 박창현)도 LCD 기판검사 장치에 관한 특허를 취득했다고 밝혔다. 이 특허는 기판 사용자가 원하는 자세로 작업을 할 수 있도록 하는 회전 장치의 개선과 장비의 구성을 단순화하는데 필요한 기술로, TFT-LCD의 7세대 이상의 검사장비에 적용돼 제품의 경쟁력을 높일 것이라고 디이엔티 측은 설명했다.

심규호기자@전자신문, khsim@