주성엔지니어링, 플라즈마 식각장치 특허 취득

　주성엔지니어링(대표 황철주)은 10일 플라즈마 식각 장치에 대한 특허를 취득했다고 밝혔다.

　주성엔지니어링은 “이번 특허는 웨이퍼의 아랫면과 정전기척 사이에 헬륨가스를 주입하는 플라즈마 식각 장치로, 하부 전극 및 상기 척베이스에 관통 삽입돼 헬륨가 스를 공급하는 헬륨라인을 복수의 미세 세라믹 볼로 채우는 것이 특징”이라고 설명 했다.

심규호기자@전자신문, khsim@