주성엔지니어링, LG필립스LCD에 CVD장비 공급

　주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 LG필립스LCD 및 대만 CMO에 각각 6세대 LCD장비와 5세대 LCD장비 등 총 6대, 금액으로는 660억원 규모의 장비공급계약을 체결했다고 1일 밝혔다.

　주성엔지니어링이 LG필립스LCD에 공급키로 한 LCD 제조장비는 크기 1500×1850㎜의 글라스를 제조할 수 있는 6세대 플라즈마 화학기상증착(PE CVD)장비로 규모는 총 3대다. 이번 수주는 LG필립스LCD 6세대 생산라인의 1차주문으로 조만간 2차주문이 추가로 이뤄질 예정이다.

　주성엔지니어링의 6세대용 PE CVD는 자체 특허기술을 이용, 장비 설치면적(footprint)을 최소화하면서 6개의 공정 체임버 부착이 가능해 5세대 장비 대비 생산성을 25% 가량 높인 제품이다.

　이와는 별도로 주성엔지니어링이 대만 CMO에 공급키로 한 제품은 5세대용 PE CVD 2대와 5.5세대용 PE CVD 1대 등 총 3대다.

　이에 앞서 CMO와 2대의 5세대장비 공급계약을 체결한 바 있는 주성엔지니어링은 이번에 내년 3분기 가동예정의 5.5세대(1300×1500㎜) 장비 공급계약을 성사함에 따라 내년 추가 수주의 가능성이 매우 높은 것으로 평가하고 있다.

　한편 최근 국내외 LCD 제조업체들이 주성엔지니어링의 특허기술 및 장비성능을 신뢰, 잇따라 차세대 PE CVD를 발주해옴에 따라 일부에서 제기되었던 특허권 도용 관련 루머는 근거없음이 판명됐다고 주성엔지니어링측은 덧붙였다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>