웨이퍼 업계, 300mm 시대 맞아 발빠른 행보

　국내 실리콘웨이퍼 업계가 300㎜ 웨이퍼 시대를 맞아 발빠르게 움직이고 있다.

　13일 관련업계에 따르면 인에쓰, 바커, 섬코 등 선두 웨이퍼 업체들이 300㎜ 웨이퍼 증설을 계획하고 있는 가운데 국내 업체들은 해외 인증을 받고 핵심재료를 생산하면서 이에 보조를 맞춰간다는 계획이다.

　국내 유일하게 구미에 300㎜ 웨이퍼 전용 생산라인을 갖고 있는 LG실트론(대표 정두호)은 최근 대만 파운드리 업체 UMC로부터 300㎜ 테스트급 웨이퍼 품질승인을 받았다.

　LG실트론은 현재 TSMC에 품질승인 절차를 진행하고 있어 대만에 300㎜ 공장(fab)이 있는 프로모스(ProMos), PSC 등 4개사의 인증을 모두 완료하게 된다.

　이 회사의 관계자는 “현재 삼성과 도시바에 지난해 하반기부터 테스트급 300㎜ 웨이퍼를 공급하고 있으며 프라임급의 경우도 삼성전자와 프로모스에서 품질승인 마지막 단계에 와 있다”며 “미국 IBM과 TI도 곧 품질승인 절차를 밟을 예정”이라고 말했다.

　LG실트론은 현재 월 1만5000장 규모의 300㎜ 웨이퍼를 생산하고 있다. 이 회사는 2003년말까지 3만5000장, 2004년 7만5000장, 2005년 10만장 양산을 목표로 단계별 계획을 추진중이다.

　엠이엠씨코리아(대표 장승철)은 300㎜ 웨이퍼 전용공장은 없지만 웨이퍼 생산공정의 30% 이상을 차지하는 300㎜ 웨이퍼용 인곳(ingot)을 올 1분기부터 생산하고 있다.

　이 회사는 현재 기존 8인치 웨이퍼 생산공정에서 300㎜ 인곳을 생산하고 있으며 올해 말까지 300㎜ 인곳을 제조할 수 있는 장비 10대를 도입할 예정이다.

　이 회사의 김영찬 상무는 “현재 일본 우쓰노미야에 있는 엠이엠시그룹 계열사인 엠이엠시재팬의 300㎜ 전용 공장에 인곳을 공급하고 있으며 향후 300㎜ 웨이퍼 수요의 대부분을 공급해 생산기지화한다는 전략”이라고 말했다.

　김 상무는 또 “현재 8인치 웨이퍼를 주력 생산하고 있지만 300㎜ 웨이퍼 시대를 맞아 대규모 투자가 필요 없는 인곳을 생산해 대응하고 있으며 향후 그룹 전략에 따라 300㎜ 전용공장도 갖출 예정”이라고 말했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>　

　

　<사진설명>

　국내 실리콘웨이퍼 업체들이 300㎜ 시대를 맞아 생산규모를 늘리는 등 발빠른 행보를 보이고 있다. 300㎜ 웨이퍼(왼쪽)와 200㎜ 웨이퍼.