싸이머, 평택에 극자외선 레이저용 체임버 생산 공장 완공

　반도체 노광공정용 엑시머광원(Eximer Light Source)장치업체 싸이머코리아(대표 팽재원)는 최근 경기 평택 어연한산산업단지에 노광공정의 핵심모듈인 극자외선(DUV)레이저용 체임버(chamber) 생산공장을 준공했다고 9일 밝혔다.

　9918㎡(3000평)의 대지에 건평 3306㎡(1000평) 규모로 건설된 평택공장은 아·태지역 영업 강화를 위해 사이머(Cymer)가 처음으로 극자외선광원 생산을 위해 미국 이외의 지역에 마련한 공장이다.

　싸이머코리아는 현재 1㎑ 엑시머레이저용 체임버를 연 360대 생산할 수 있는 능력을 갖췄으나 올 해 말까지 2㎑ 급 체임버를 생산할 수 있도록 증설을 단행, 연말께는 연 1000대의 체임버를 생산할 계획이다.

　싸이머코리아측은 레이저 체임버가 국내에서 생산됨에 따라 원가절감 및 납기단축에 크게 기여할 것으로 기대했다.

　본사 파스칼 디디에 사장은 “미국은 차세대 노광(리소그라피) 광원을 개발하고 한국은 안정화된 장비의 유지 및 서비스 공급 역할을 하는 등 역할분담을 맡게 될 것”이라며 “향후 4∼5년 안에 광원 시장이 상당한 변화가 예상되는 만큼 한국공장을 교두보로 극자외선 리소그라피의 황금기를 열겠다”고 말했다.

　DUV레이저용 체임버는 스테퍼와 스캐너 등 노광장비에 레이저 광원을 공급해 웨이퍼 회로를 형성하는 핵심장치다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>