폴리세미콘닥터, 반도체웨이퍼용 패드 국산화 및 공급

　반도체 재료 전문업체 폴리세미콘닥터(대표 김경중)는 그동안 전량 수입에 의존해온 반도체 웨이퍼용 폴리싱패드(polishing pad)와 화학적기계적연마(CMP)패드를 독자적으로 개발, 국내외 대형 반도체업체들을 대상으로 공급에 나섰다고 6일 밝혔다.

　폴리세미콘닥터가 개발한 반도체 웨이퍼용 폴리싱패드(모델명 PS-101/102/103/111)는 고밀도 타입의 폴리파이브와 폴리우레탄을 주성분으로 사용하고, 그 외 자체 개발한 특수 수지를 첨가해 기존 외국제품에 비해 연마 효율성이 40% 이상 향상됐다. 이에 따라 반도체 웨이퍼의 생산속도를 30% 가량 향상시킬 수 있어 대량 생산공정에 적합하다고 회사측은 밝혔다.

　김경중 사장은 “반도체용 CMP패드도 기존 제품과는 전혀 다른 새로운 제조공법을 활용해 만든 제품으로 품질과 가격, 생산속도에서 경쟁력이 있다”며 “특히 폴리싱패드와 CMP패드는 반도체 회사의 요구에 따라 맞춤형으로 생산·공급할 수 있다”고 말했다.

　특히 소모성 재료인 CMP패드는 폴리세미콘닥터의 제품이 기존 제품에 비해 가격이 최고 50% 가량 저렴하기 때문에 미국 로델의 제품과 비교해 경쟁력을 충분히 갖춘 것으로 평가받고 있다.

　이 회사가 개발한 폴리싱패드와 CMP패드는 현재 국내 일부 반도체업체에 판매되기 시작했으며, 대형 반도체업체의 품질인증을 위해 공정 테스트를 진행중이다. 또 LCD 글라스용 패드, 유기EL용 패드, 컬러필터용 패드 등도 현재 기술개발을 완료하고 판매 또는 공정테스트를 거치고 있다.

　또 CMP패드는 최근 대만의 UTC 등 일부 반도체 회사에서 공정 테스트를 진행중이며, 폴리싱패드와 LCD 글라스용 패드는 일본과 독일의 반도체 웨이퍼 회사와 수출상담을 진행중이다.

　한편 폴리세미콘닥터는 본격적인 제품 생산을 위해 다음달께 구미 국가산업단지에 공장을 확장 이전할 계획이다. 문의 (054)430-8182

　<대구=정재훈기자 jhoon@etnews.co.kr>