크린에어테크놀로지, 클린룸용 화학필터 사업 본격화

　산업용 필터 전문업체 크린에어테크놀로지(대표 박형중 http://www.cleanair-tech.com)는 6일 반도체 청정실(클린룸)용 화학필터 사업을 본격화할 계획이라고 발표했다.

　이 회사는 지난 2년 동안 S사 등 반도체 라인에서 진행된 필터 테스트에서 좋은 평가를 받아 품질승인을 획득했으며 현재 S사와 H사 등 반도체업체와 장기 공급계약을 진행중이다.

　크린에어테크놀로지는 자사의 화학필터가 이온교환수지방식을 사용했기 때문에 수입품보다 25∼30% 저렴하다고 밝혔다.

　이 회사는 또 질소화합물(NOx), 황산화합물(SOx) 및 오존을 동시에 제거하는 복합필터의 개발을 마치고 상반기 출시를 목표로 상품화를 서두르고 있다.

　이 회사 남연우 이사는 “필터 수요가 초고순도 에어필터에서 부가가치가 높은 화학필터 등 복합필터로 바뀌고 있다”며 “이를 계기로 화학필터 전문업체로 자리매김할 것”이라고 말했다.

　화학필터는 식각공정중 클린룸에서 발생하는 암모니아 및 아황산가스 등 화학가스를 흡착, 제거하는 필터로 대부분 일본으로부터의 수입에 의존해왔다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>