<국제클린에어텍2002>크린룸 주요업체 제품(2)

　◇삼화에이스

　클린룸 및 공기조화기 전문업체 삼화에이스(대표 김학근 http://www.samhwaace.co.kr)는 산업용 및 생명과학용 클린룸을 출품한다.

　삼화에이스의 산업용 클린룸은 클라스 M1에서 M7까지 설계 및 시공이 가능하며 수년간 축적된 기술과 경험으로 클린룸을 성실시공할 수 있다는 것을 자랑한다.

　작업자와 관리자를 배려한 시스템을 구현하며 공조냉동전문가가 시스템을 설계 및 시공하기 때문에 에너지 효율을 높일 수 있는 것이 특징이다. 또 품질이 우수한 공조기를 비롯한 클린룸 장비를 자체 생산할 수 있어 비용을 대폭 절감할 수 있다.

　이 회사의 생명과학(바이오로지컬)용 클린룸은 다년간 연구 및 기술개발에 따른 저소음·고청정 유닛에 의한 클린룸을 구현하는 것이 특징이다. GMP·GLP 및 바이오 위험에 대해서도 최적의 시스템을 가장 저렴한 비용으로 구축할 수 있다는 게 회사 측의 설명이다.

　삼화에이스의 클린룸 방식은 수직층류방식(Vertical Laminar Airflow)·수평층류방식(Horizontal Laminar Airflow)·난류방식 (Turbulent Airflow)·혼류방식(Mixed Airflow)·터널방식(Tunnel) 등이 있다.

　이들 클린룸은 상류의 발진이 하류에 영향을 미치며 레이아웃에 따라 작업자로부터 영향이 가장 적게 받는 것이 특징이다. 특히 에어 로크 룸의 경우 오염농도가 높은 장소의 클린룸, 생명과학 클린룸 및 화학위험 룸 사이를 사람이나 물건이 출입하면 외부의 오염입자가 유입되는 것을 막고 헤저드 룸의 영향을 최소화하기 위해 방의 출입구에 공기계류를 따로 설치했다.

　

　◇화인에어텍

　공기조화기 전문업체 화인에어텍(대표 윤대성 http://www.fineair.co.kr)은 관리자가 설정해놓은 범위에서 실내 온습도 및 외기 도입량 등을 기기 스스로 가변제어하는 공기조화기 및 항온항습기를 선보인다.

　화인에어텍의 공기조화기는 냉난방 및 가습 에너지를 30% 이상 절감할 수 있다는 것이 가장 큰 특징이다. 이 공기조화기는 실내 온습도 자동설정 기능이 있어 실내의 부하 특성에 따른 자동연산기능을 수행한 후 최소한의 에너지 사용으로 실내공기 조건을 만족시킨다.

　또 외부 공기도입량 자동조절 기능을 갖추고 있어 외부 공기의 엔탈피와 실내공기의 엔탈피를 상시 비교분석하고 실내 공기 조건을 만족시키는 데 필요한 최소한의 외부 공기만 도입될 수 있도록 자동연산 기능에 의해 에너지 손실을 최소화한다.

　에너지 사용량 적산 및 분석기능도 이 회사의 자랑거리다. 이 기능은 냉난방 에너지, 가습 및 제습 에너지 등의 분야별 에너지 사용량을 시간대별로 적산·모니터링화해 해당 공조장치의 에너지 사용 현황을 비교분석할 수 있다.

　화인에어텍의 항온항습기는 고도의 정밀도와 신뢰성을 갖춘 기기로 항온·항습이 요구되는 장소에서 정확한 성능을 발휘하는 공기조절 장치다. 이 제품은 폭넓은 사용 범위, 세계적인 수준의 압축기, 우수한 외기보상장치와 고성능 필터를 사용해 저소음을 실현하는 것이 특징이다.

　

　◇한국캠브리지필터

　반도체 및 박막트랜지스터 액정표시장치 클린룸용 필터 전문업체 한국캠브리지필터(대표 서은태 http://www.cambridgefilter.co.kr)는 화학필터(케미컬 필터) 및 복합공기여과기를 선보인다.

　한국캠브리지필터의 화학필터는 반도체 및 환경산업 제조장치에서 발산하는 거의 모든 종류의 초미량 가스에 대한 고효율의 제거 성능을 보유하고 있는 것이 특징이다.

　이 제품은 내약품성의 특수한 화학섬유 및 광섬유 여재를 사용해 내산성 세퍼레이터로 구성됐다. 반도체·전자 관련 제조공정 및 원자핵연료 제조시설에 쓰이고 불화수소산가스의 클린룸 배기계 등에 적합하다. 올초 개발된 이 제품은 이미 삼성전자·아남반도체와 공급계약을 맺고 현재 양산·공급 중이다.

　복합공기여과기는 광촉매 및 2단 하전식 전기집진지를 이용해 생기는 지하철 및 지하상가, 그리고 일반 빌딩 등의 실내 공기질 관리법을 만족시키는 시스템이다.

　한국캠브리지필터는 최근 LG필립스LCD에 클린룸용 에어필터를 공급하고 있다. 이 제품은 0.12∼0.17㎛ 입자에서 99.9999%의 포집이 가능한 초고순도 필터로 클린룸 ‘클라스1’ 이하에서 적용할 수 있는 것이 큰 특징이다.

　이 회사는 충북 청원 오창과학산업단지에 1만6500㎡(5000평) 규모의 신공장을 착공하고 내년 4월 안산공장과 서울 본사를 모두 오창 신공장으로 이전해 제2의 도약을 이룬다는 계획이다.

　

　◇카엘

　첨착활성탄을 이용한 대기정화·수질정화 전문업체 카엘(대표 이후근 http://www.kael.co.kr)은 반도체 공정에서 발생하는 유해가스를 완벽하게 제거하는 반도체용 화학필터를 출품한다.

　카엘의 화학필터는 반도체 제조공정에서 발생하는 유해가스(암모니아·아민 오존 등)를 첨착활성탄으로 흡착해 걸러내는 것으로 가스제거율이 99.99%에 달한다.

　이 제품은 그동안 미국 도널드슨·이에스아이, 일본 곤도다코마·에바라 등에서 독점공급하던 제품으로 수입제품에 비해 비용을 50∼70% 수준으로 낮춰 경쟁력을 갖췄다는 평가를 받았다. 카엘은 2년 전 이 제품을 자체 기술로 국산화해 양산체제를 갖춰 삼성전자와 하이닉스반도체 등에 공급하고 있다.

　첨착활성탄이란 일반 활성탄으로 제거하기 어려운 특정유해물질 또는 극성물질의 흡착 성능을 높이기 위해 일반 활성탄소에 특수화학약품을 첨가해 활성탄 표면 및 세공 표면에 첨착시켜 화학적 흡착성능을 높인 기술이다. 이 기술을 응용, 화학필터와 공조기도 생산하고 있다.

　카엘은 월 1000개의 오존필터를 생산할 수 있는 양산체제를 갖췄다. 오존필터는 반도체 공정설비로 유입되는 오존을 효과적으로 제거해 반도체 생산수율을 향상시키는 역할을 한다.

　다이옥신은 발암성이 큰 물질로 주로 쓰레기 소각장에서 발생하는데 카엘은 자체 기술로 첨착활성탄을 첨가, 다이옥신 제거에 활용해 효율은 95.1%에 이르고 악취제거율 역시 99%를 기록했다는 것이 큰 특징이다.

　

　◇이토스템

　정전기 제거 및 측정기 전문업체 이토스템(대표 김영호 http://www.etostem.com)은 박막트랜지스터 액정표시장치 및 정밀 통신기기의 정전기 제거용 장치를 선보인다.

　정전기 제거장치는 이온에어샤워가 대표적으로 클린룸 입실시 인체 및 제품 등에 묻어 있는 먼지·오물·머리카락·해충 등을 제거하기 위해 공기역학을 응용했다.

　이온에어샤워는 고속분류를 분출시켜 그 속도 에너지를 응용해서 입구의 문을 열면 상부 및 양측면(3면 동시분출)의 청정화된 강력한 공기를 분사하기 때문에 동시에 정전기를 제거하므로 먼지와 세균을 제거해 청정도를 유지하는 장비다.

　보통 0.5㎛ 크기의 오염물질을 98% 이상 여과할 수 있고 반도체 제조라인 및 전자부품·의약품 제조라인 등의 출입구에 설치해 정전기를 완벽히 제어한다.

　시트·웹 부품을 청소하면서 발생하는 정전기를 중화시키는 웹클리너도 이토스템이 자랑하는 제품이다. 이 제품은 0.1㎛ 정도의 조그만 입자도 효과적으로 제거할 수 있도록 설계됐으며, 막대 및 공기튜브 또는 접촉청소가 가능한 2개 이상의 진공후드로 구성됐다. 1㎛의 입자를 99% 이상의 효율로 제거할 수 있는 성능을 갖춘 고효율의 카트리지 필터를 내장한 집진기에 연결돼 있다.

　이 회사는 컨베이어의 이동물체에서 먼지를 제거하는 먼지 클리닝 컨베이어 등을 생산해 향후 종합정전기제어업체로 성장한다는 목표다.

　

　◇서경티에스씨

　반도체 클린룸용 바닥재 생산전문업체 서경티에스씨(대표 조진경 http://www.sktsc.co.kr)는 알루미늄 특수기능형 액세스 플로를 선보인다.

　이 제품은 공기 구멍이 없는 형태로 극대하중이 요구되는 장소에 사용되며 사방격자형 구조로 만들어져 힘의 분산을 극대화해주는 장점이 있어 반도체 클린룸의 특수장비에 대한 하중능력이 우수한 특징이 있다. 또 자유로운 마감재를 선택해 뛰어난 효율성과 우수한 가공성, 그리고 가격경쟁력을 갖추고 있다.

　표면마감재로는 PVC 계열의 전도성 타일 및 대전방지 타일을 사용했다.

　이 회사는 주력업종인 반도체 클린룸의 알루미늄 특수기능형 바닥재 생산을 비롯해 정보통신빌딩 및 인텔리전트빌딩에까지 이중바닥재를 생산·시공해왔다. 최근에는 대화면·고해상도·초박형(슬림)의 디지털 디스플레이어 양산에 따라 플라즈마 디스플레이용 히트 싱크를 생산하고 있다.

　동종업계 최대로 3500톤급 다이케스팅 4기와(일본 UBE 제품), 2500톤급 다이케스팅 2기(일본 도시바 제품)를 보유하고 있으며 전 공정 자동화 라인을 갖췄을 뿐만 아니라 ‘R&D연구소’를 운영해 품질과 환경문제에 고루 대응할 수 있게 했다.

　서경티에스씨는 중앙기술연구소를 통해 클린룸의 청정도 유지를 위한 제품의 초정밀화 및 관련 장비의 고하중에 대한 내구성 배가를 위한 연구개발 및 실용화에 주력하고 있다.