아토, 삼성전자와 12인치 장비 공동 평가계약 체결

　아토(대표 문상영 http://www.atto.co.kr)는 삼성전자와 최근 300㎜ 웨이퍼 생산에 필요한 전공정 장비 ‘PE-CVD’의 국산화를 위한 공동평가 계약(JEP)을 맺고 최종공정 조건 및 설비성능 보증을 위한 개발에 들어갔다고 19일 밝혔다.

　양사는 평가기간중 장비의 안정성, 가격경쟁력, 품질 등에 대해 공동평가를 실시할 예정이며 이를 통해 300㎜ 전공정장비의 제작 및 운영기술을 확보, 국산화율을 높인다는 계획이다.

　아토측은 “300㎜ 웨이퍼의 세계적 기술을 보유한 삼성전자가 자사와의 공동평가계약을 맺은 것은 아토에 대한 기술력을 인정한 것을 의미한다”면서 “이를 계기로 차세대 장비 국산화에 힘을 모을 계획”이라고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>