전기硏, 스토커용 비접촉 전원장치 국산화

　반도체 이송장비인 스토커의 필수부품으로 그동안 전량 수입에 의존해온 비접촉 전원장치가 국산화됐다.

　한국전기연구원(원장 권영한) 구대현 박사팀은 반도체장비업체인 신성이엔지 및 전주대 김은수 교수팀과 공동으로 18개월 동안 3억원의 연구비를 투입, 플라즈마디스플레이패널(PDP)·LCD 및 반도체의 클린공정에 필수부품으로 제품 이동장비인 스토커용 5㎾급 비접촉 전원장치를 개발했다고 3일 밝혔다.

　이번에 개발된 비접촉 전원장치는 직선이동하는 스토커에 전원선 없이 자기유도에 의한 비접촉으로 전원을 공급하는 장치로 반도체의 청정도를 높일 수 있으며 반도체 공정뿐만 아니라 산업·교통 및 의료 분야 등에서 다양하게 활용될 수 있을 전망이다.

　비접촉 전원장치는 고청정 반도체 스토커의 핵심부품임에도 국산화가 이뤄지지 않아 국내 반도체제조업체들은 그동안 다이후쿠와 무라타 등 일본 업체로부터 이 전원장치를 채용한 스토커 장비를 세트당 5억원 정도의 높은 가격에 수입, 사용해왔다.

　이 장치는 신성이엔지의 스토커에 적용될 예정이며 신성이엔지는 올 상반기 중 5㎾급 비접촉 전원장치를 적용한 스토커를 생산해 올해 내수 150억원, 수출 50억원 등 총 200억원 정도의 판매고를 달성할 계획이다. 이와 함께 신성이엔지는 2003년에는 내수 300억원, 수출 150억원 등 총 450억원, 2006년에는 내수 400억원, 수출 500억원 등 총 900억원 정도의 매출 실적을 거둘 수 있을 것으로 보고 있다.

　한편 비접촉 전원장치를 적용한 스토커 시장은 2002년 현재 전세계적으로 1000억원 정도에 달하며, 반도체 제조의 고청정을 유지하기 위해 최근 반도체 메이커들이 기존 케이블 전원장치 대신 비접촉 전원장치로 대체하고 있어 오는 2005년에는 세계 시장이 2300억원에 달할 것으로 전망된다.

　구대현 박사는 “스토커의 전원을 케이블로 공급하면 고속주행 시 마찰에 의해 분진이 발생해 스토커 내의 고청정 유지가 어렵다”며 “더욱이 반도체 제조공정의 고밀도에 따른 스토커 내 고청정 유지가 필수적이기 때문에 비접촉 전원장치의 수요가 더욱 확대될 것”이라고 밝혔다.

　<권상희기자 shkwon@etnews.co.kr>