세미콘코리아2002가 5일 서울 삼성동 코엑스 전시장에서 개막됐다. 세계 15개국 450여개 업체가 참가한 이번 전시회에는 반도체 회로선폭을 0.11∼0.13미크론급으로 구성할 수 있는 초미세공정용 장비와 조만간 본격적인 시장이 열릴 것으로 보이는 300㎜ 웨이퍼 가공장비가 대거 출품됐다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>
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