멤스전문 FAB 구축사업 급물살

　자금력이 취약한 국내 미세전자기계시스템(MEMS:멤스) 관련 부품업체가 제품 양산을 위탁할 수 있는 멤스 전문 일관생산라인(FAB:팹) 구축사업이 급물살을 타고 있다.

　최근 하이닉스를 비롯한 일부 반도체장비업체들이 멤스부품업계의 숙원사업인 멤스 전문 FAB 구축과 관련해 잇따라 설비임대나 협조의사를 밝히고 나서 귀추가 주목된다.

　멤스연구조합 관계자에 따르면 국내 20여 멤스기업이 공동으로 사용할 반도체센터(팹)를 확보하는 사업에 대해 국내 4∼5개 반도체 관련업체로부터 수차례 제안을 받았다고 밝혔다.

　이 관계자는 하이닉스와 비메모리 생산라인의 일부 설비를 멤스 수탁생산(파운드리) 서비스로 전환하는 방안에 대해 일부 논의했으며 일부 반도체장비업체와 멤스 전용 생산설비를 공동 개발하는 협상도 진행중이라고 말했다.

　이러한 움직임은 최근 멤스 제품의 상용화에 대한 반도체업계의 높은 관심도를 나타내며 올 상반기 약 990㎡(300평) 규모의 청정실(클린룸)을 지닌 공동 팹 구축을 원하는 멤스부품업계에 긍정적인 상황전개로 해석된다.

　멤스연구조합측은 하이닉스가 제안한 일부 비메모리 생산라인의 경우 멤스공정에 바로 적용하기 힘들고 여타 반도체장비업체의 공동개발 제안도 좀 더 협의가 필요하지만 멤스 전용 팹 사업이 반도체업계의 관심속에 예상보다 일찍 탄력을 받기 시작했다고 설명했다.

　<배일한기자 bailh@etnews.co.kr>