파이컴, 엑시머레이저 마이크로 머시닝 시스템 개발

　파이컴(대표 이억기 http://www.phicom.co.kr)이 레이저 개발업체인 미국의 JPSA와 공동으로 3년 동안 25억원을 투자해 엑시머레이저 마이크로머시닝 시스템(모델명 IX-1000 시리즈)을 개발했다고 10일 밝혔다.

　자외선(UV) 엑시머레이저를 장착해 248㎚ 파장에서 최대 450mJ의 출력을 내는 이 시스템은 분해성능이 0.1미크론에 이를 정도로 세밀한 가공을 할 수 있을 뿐만 아니라 자체 개발한 특수 빔 전달 시스템을 적용, 미세전자기계시스템(MEMS:Micro Electro-Mechanical System)을 가공할 때 생산수율에 직접적으로 영향을 주는 빔활용계수(BUF)를 극대화한 것이 특징이다.

　또 화강암 재질로 된 테이블 및 레이저빔 전달장치의 기둥들이 3중의 방진장치를 구성해 시스템 내외부의 모든 진동으로부터 안정된 작업을 보장하며 프로젝트별로 하드웨어 설정을 할 수 있는 메인 프로그램은 한번 했던 작업을 별도의 환경설정 없이 바로 시행할 수 있게 해준다.

　파이컴은 앞으로 이 제품이 반도체를 비롯한 평판디스플레이, 광통신부품 등의 주요 제조공정과 PCB 드릴링, 잉크젯 노즐의 홀 가공, DNA 연구 등 극도로 세밀한 작업이 필요한 제조 및 연구 분야에서 크게 각광받을 것으로 기대했다.

　<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>