코닉시스템, 클러스터 툴 구동 소프트웨어 일본에 수출

　반도체장비 및 제어기 전문업체인 코닉시스템(대표 정기로)이 자체개발한 클러스터 툴 컨트롤러(CTC) 소프트웨어 솔루션인 ‘이지클러스터 2.0’을 최근 일본 중견장비업체인 아넬바에 판매하기로 했다고 15일 밝혔다.

　시스템 IC 2010 사업의 일환으로 3년간의 연구끝에 지난해 개발 완료한 이 제품은 10여개 국내 전공정장비 업체들의 200·300㎜ 장비 개발 및 생산에 사용중이며 아넬바의 300㎜ 웨이퍼용 고진공(UHV) 화학증착(CVD) 장비에 탑재돼 내년에 대만 소자업체로 판매된다.

　이 회사는 이번 일본수출을 계기로 해외 영업을 강화하는 한편 평판디스플레이(FPD) 장비용 제품으로까지 응용분야를 넓힐 계획이다.

　94년 설립 이후 급속열처리장비인 ‘코로나 RTP1220A’ 등의 전공정장비를 개발한 코닉시스템은 구동소프트웨어를 자체 개발해 국내 반도체장비산업에서 취약한 제어 소프트웨어 기술의 발전에 일조하고 있다.

　<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>