어플라이드머티리얼즈, 프로듀서 SE300 출시

　어플라이드머티리얼스는 ‘프로듀서 SE300’을 비롯한 100나노미터(㎚) 이하 소자의 제조를 위한 300㎜ 장비를 대거 선보이고 하반기부터 본격 시장공략에 나선다고 17일 밝혔다.

　이 회사는 이의 일환으로 미국에서 열리는 세미콘웨스트 전시회에 21종의 300㎜ 웨이퍼용 장비를 출품했다.

　이중 어플라이드머티리얼스가 주력제품으로 꼽고 있는 ‘프로듀서 SE300’은 기존 프로듀서 시리즈에 비해 웨이퍼 처리량을 최고 45%까지 향상했고 공정 체임버 이동 전 웨이퍼 예비가열 기능을 채택해 공정 체임버 직접 웨이퍼 가열방식에 비해 시간절약이 가능하므로 시간당 박막은 130장, 후막은 100장까지 처리할 수 있다.

　특히 환경보전을 위해 지구 온난화를 야기하는 불소화합물(PFC) 가스를 완전 제거했으며 저유량 원격 체임버 클린 기술을 채택, NF3 가스의 사용량을 최고 40%까지 감소시켰다.

　이 회사는 이 장비 외에도 80여 공정에 적용할 수 있는 다양한 장비를 전시, 차세대 장비 분야에서 업계 표준으로 자리잡을 수 있는 계기를 마련한다는 전략이다.

　 <최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>