ARF 엑시머레이저 장비 공급 활발

차세대 광원인 불화아르곤(ArF)을 쓰는 엑시머레이저 장비 시장을 공략하기 위한 업체들의 발걸음이 빨라지고 있다.

25일 업계에 따르면 엑시머레이저 개발업체인 미국의 사이머와 독일의 람다피지크, 일본의 기가포톤 등은 초미세회로선폭기술을 도입하는 반도체업체들로부터 수요가 늘어날 것으로 보고 ArF를 쓰는 차세대 엑시머레이저 장비 시장공략에 들어갔다.

ArF 레이저는 파장이 기존 불화크립톤(KrF)의 248나노미터(㎚)에 비해 193㎚로 짧아 초미세회로선폭을 구현할 수 있다.

미국 사이머의 한국지사인 싸이머코리아(대표 팽재원 http://www.cymer.com)는 상반기중으로 평택공장을 완공하고 193㎚ 파장의 4㎑급 ArF 체임버 「나노리스(Nanolith) 7000」을 공급할 계획이다. 이 회사는 국내시장을 발판으로 오는 2003년부터 아시아 국가로 수출도 추진할 방침이다.

화인반도체기술(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)은 독일의 람다피지크에서 개발한 ArF 레이저 장비를 앞세워 반도체 제조업체를 대상으로 사전영업활동에 들어갔다.

일본 기가포톤의 레이저 장비 판매 및 서비스를 지원하는 미산인터내셔날(대표 박상민 http://www.misanltd.co.kr)도 기가포톤 「G40A」 장비의 수요처 발굴을 위해 주요 반도체 제조업체를 순회하며 제품의 주요 기술과 운영비 절감효과를 알리고 있다.

<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>