세계 반도체업계, 환경문제 관심 고조

세계 반도체업계가 과불화탄소(PFC) 방출량의 감축을 비롯해 환경문제에 능동적으로 대응한다.

인텔·AMD·NEC·삼성전자 등 주요 반도체업체 21개사는 지난주 미국에서 회의를 갖고 지난 95년 방출량을 기준으로 과불화탄소의 방출량을 오는 2010년까지 10% 이상 자발적으로 감축하는 행동계획을 마련했다. 이는 세계 반도체 생산업체 협의체인 세계반도체협의회(WSC)가 지난해 4월 말 제주회의에서 합의한 내용을 구체화한 것으로 반도체업체들은 앞으로 본격적인 감축작업에 들어가게 된다.

지구 온난화 및 오존층 파괴의 주범으로 몰리는 과불화탄소는 반도체의 에칭과 세정 공정에서 불가피하게 나오는 물질이다.

이밖에 세계 반도체업계는 화학물질 관리, 에너지 절약과 같은 분야에 대해서도 지속적으로 논의하기로 했다.

그렇지만 유럽연합(EU)에서 규제를 추진중인 납(●) 사용문제에 대한 논의는 별다른 진전이 없었다. 국내 반도체업체들은 환경문제가 현안으로 등장함에 따라 업계 공동의 대응책 마련과 아울러 외국 업체들과의 협력을 강화하고 있다.

이와 관련, 한국반도체산업협회(회장 이윤우)는 오는 20일부터 이틀 동안 서울 역삼동 르네상스호텔 다이아몬드볼룸에서 한·미 반도체 환경안전 심포지엄을 개최할 예정이다.

양국 반도체업체간 환경안전기술 및 정보 교류를 위해 열리는 이번 행사에서는 주요 이슈인 과불화탄소 가스 감축을 위한 공정기술을 비롯해 △용수 재활용 및 폐수 처리기술 △용해제가 없는 차세대 리소그래피(lithography) △대체 과불화탄소 가스 개발 △플라즈마를 이용한 과불화탄소 스크러버 개발 △반도체 공장의 안전규칙 △화학기계적연마(CMP) 재활용 기술 등에 대한 최신 동향을 논의할

예정이다.

국내에서는 채승기 부장(삼성전자), 신총수 과장(현대전자), 윤도영 교수(서울대), 조영상 교수(KIST), 허완수 교수(숭실대) 등 8명이, 미국에서는 짐 즈윗(인텔), 파항 샤드만 교수(애리조나대), 월터 워스 박사(SEMATECH) 등 8명이 연사로 참석해 주제발표와 토론을 갖는다.

<신화수기자 hsshin@etnews.co.kr>