피케이엘(대표 정수홍)은 지난 95년 반도체 및 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)용 포토마스크 생산기술을 국산화하며 국내 포토마스크 시장을 주도하고 있다.
특히 98년부터 관련장비 개발로 투자를 확대해온 이 회사는 고밀도 플라즈마(HDP)를 이용한 건식식각장비(모델명 CP6000-I) 및 마스크 세정장비(모델명 PMC2000)를 개발, 포토마스크 장비시장 진출도 본격화하고 있다.
CP6000-I는 낮은 압력에서 소스 안정성 및 플라즈마 균일도가 우수한 것이 특징으로 국내 포토마스크 제작업체인 S사에 납품, 가동 중이고 일본 주요 포토마스크 제작업체의 장비 성능평가가 거의 완료돼 곧 수출될 것으로 보인다.
미세 파티클 제거능력이 뛰어나며 화학약품의 사용량을 크게 줄여 환경오염문제를 해결한 PMC2000은 현재 대만의 포토마스크 업체에서 성능평가를 진행 중이다.
정수홍 사장은 『마스크와 장비를 함께 제작함으로써 기술적인 시너지 효과를 얻기 위해 장비시장에 진출한 것』이라며 『현재 국내외에서 피케이엘의 장비에 큰 관심을 갖고 있어 올해 장비부문에서만 약 80억원의 매출을 기대하고 있다』고 말했다.
피케이엘은 앞으로 마스크 제작기술과 장비를 패키지로 판매하는 방안을 마련하는 한편 장비의 성능과 마스크 제조기술 향상에 힘쓸 계획이다.
피케이엘은 올해를 기점으로 해외 장비시장을 적극 공략, 내년에 1400억원의 매출을 올리고 포토마스크 전문 종합업체로 자리매김한다는 게 목표다.
<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>
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