아시아 3국, 300㎜ 웨이퍼 클린룸 공동생산

한국·일본·대만의 중소 반도체 장비업체들이 「아시아e프렌드그룹(Asia e-friend Group)」을 결성하고 첨단장비인 300㎜ 웨이퍼 청정실(클린룸, 모델명 e프렌드 300)을 공동 개발했다.

일진엔지니어링(대표 이재천 http://www.ije21.com)은 일본의 제일공업, 대만의 플로시스(Prosys) 등 중소기업과 제휴, 제5세대 반도체 장비인 300㎜ 웨이퍼 클린룸을 공동 개발해 「e프렌드」라는 브랜드로 판매할 예정이라고 18일 밝혔다.

300㎜ 웨이퍼 클린룸은 클린룸 내의 반도체 내장률을 200㎜보다 높게 해 반도체 생산의 경쟁력을 높이는 데 기여하는 차세대 첨단장비로 기존 200㎜ 제품에 비해 2배 정도의 설비투자비가 소요된다.

이들 3국 중소 반도체 장비업체들은 지난 99년부터 7차에 걸친 회의를 거쳐 지난해 10월 「아시아e프렌드그룹(Asia e-friend Group)」을 결성하고 일본 제일공업은 설계와 디자인, 한국 일진엔지니어링은 기계제작과 구조기술, 대만 플로시스는 제어부문을 각각 분담해 300㎜ 웨이퍼 클린룸을 개발하고 독자적으로 조립생산할 방침이다.

일진엔지니어링 이재천 사장은 『e프렌드그룹은 고객 및 제품정보, 브랜드(e프렌드) 공유, 연합광고, 상호 자본투자 등으로 제품 개발 및 마케팅 비용을 절감하기 위한 3국간의 협력체제』라면서 『3개국의 강점을 살려 제품을 공동 개발함으로써 개발비용과 기간을 3분의 2나 줄일 수 있었다』고 밝혔다.

일진엔지니어링은 이번에 개발한 e프렌드 300을 이달 31일부터 3일 동안 코엑스에서 개최되는 「2001 세미콘 코리아」에 출품할 예정이다.

e프렌드그룹에 참여한 대만의 플로시스는 자본금 100억원에 연매출 약 2000억원 규모로 뛰어난 자동제어기술을 보유하고 있으며 일본의 제일공업은 자본금 11억원의 중소기업으로 클린룸 이송장치기술을 보유하고 있다.

<김성욱기자 swkim@etnews.co.kr>