어플라이드, 매엽식 이온주입장치 출시

반도체 앞공정장비 공급업체인 어플라이드머티리얼스코리아(대표 이영일 http://www.appliedmaterials.com)는 고에너지(high energy) 이온주입과 중전류(medium current) 이온주입장치를 하나로 결합시킨 매엽식 이온주입장치(모델명 SWIFT)를 출시한다고 18일 밝혔다.

이번 매엽식(single wafer type) 이온주입장치 「SWIFT」는 10keV에서 1.7MeV까지의 에너지 영역대응이 가능한 것이 특징으로, 반도체 소자의 파라미터 응용을 비롯한 이온주입영역을 커버함으로써 기존 제품에 비해 반도체 제조공장의 공정장비 대수를 포함한 부대비용을 크게 줄일 수 있다.

또한 이온주입의 각도 및 에너지의 정확도를 정밀하게 함으로써 0.18㎛ 회로선폭 이하 소자의 누설전류 등 소자특성을 크게 개선시킬 수 있다고 이 회사는 설명했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>