메디오피아, 반도체 공정 건식 가스정 제장치 공급 호조

반도체 제조공정용 장비업체인 메디오피아인터내셔날(대표 장일홍 http://www.mediopia.co.kr)은 올해 반도체 소자업체에 건식(dry type) 가스 정제장치(스크러버) 70대를 공급, 20억원의 매출을 올릴 것으로 기대된다고 28일 밝혔다.

이 회사의 건식 가스 스크러버는 반도체 제조과정의 식각·이온주입 공정에서 사용되는 할로겐·비소·인·붕소계의 유해가스를 흡착·분해해 대기배출허용치 이하로 처리하는 장치다.

특히 이 회사는 최근 개발에 성공한 고온 플라즈마 기술을 이 장치에 적용, 내년중 고온 플라즈마 기술방식의 가스 정제장치를 선보일 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>