美 사이머, 반도체 노광 광원장치 모듈 한국에 생산공장

세계 최대의 반도체 노광공정용 엑시머광원(Eximer Light Source)장치업체인 미국의 사이머(Cymer)가 한국에 생산공장을 건설한다.

사이머의 한국법인인 싸이머코리아(대표 팽재원)는 총 1000만달러를 투자, 경기도 평택 한산지방산업단지내 2000평의 부지에 700평(클린룸 150평) 규모의 공장을 건설해 내년 하반기중으로 가동에 들어갈 예정이라고 16일 밝혔다.

사이머의 해외생산 공장으로는 한국이 처음으로 평택공장에서는 반도체 노광(microlithography)용 엑시머광원장치의 핵심모듈인 체임버(HV discharge chamber)를 350대 생산할 예정이다.

한국공장에서 생산할 엑시머레이저 체임버는 웨이퍼에 회로패턴을 노광시켜주는 초자외선(DUV) 스테퍼·스캐너에 광원을 공급하는 장치로 248나노미터(㎚) 파장의 1㎑/2㎑급 불화크립톤(KrF) 엑시머레이저 체임버 및 차세대 불화아르곤(ArF) 광원 체임버다.

싸이머코리아의 팽재원 사장은 『한국에서 생산한 체임버를 한국의 반도체 제조업체에 우선 공급하고 대만·싱가포르·일본에 수출할 계획』이라며 『특히 국내 반도체 소자업체들의 원가절감을 가능하게 하고 서비스와 제품 납기를 크게 개선하겠다』고 말했다.

파스카 디디어 미국 사이머 사장도 『사이머의 해외 최초 제조설비가 들어설 한국을 아시아시장의 핵심 생산거점으로 삼겠다』고 밝혔다.

싸이머코리아는 체임버 생산에 대비해 내년 초 20여명의 생산부문 전문인력을 신규채용해 미국 본사에 파견, 생산기술을 이전받을 계획이다.

미국 샌디에이고에 본사와 공장이 있는 사이머는 전세계 900여명의 직원을 두고 올해 전년 매출 대비 70% 정도 증가한 4억달러의 매출실적을 예상하고 있다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>