AKT, 화학증착장비 첫선

박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 업계의 화두인 5세대 유리기판과 저온폴리실리콘을 구현할 수 있는 장비가 등장, 관심을 모으고 있다.

평면디스플레이패널용 화학증착(CVD)장비업체인 에이케이티(AKT)는 최근 5세대 TFT LCD 생산용 CVD시스템(모델명 AKT 10K CVD)과 저온폴리실리콘 TFT LCD 생산용 CVD시스템을 각각 개발했다고 24일 국내외에서 동시 발표했다.

AKT는 미국 반도체장비 회사인 어플라이드머티리얼스가 100% 투자한 디스플레이 생산용 CVD장비업체.

이번 AKT의 제품 발표로 앞으로 5세대 유리기판과 저온폴리실리콘 관련 생산장비의 개발 움직임이 본격화될 것으로 관측됐다.

AKT가 이날 발표한 5세대 TFT LCD용 CVD장비는 1㎡ 크기의 유리기판 위에 각종 실리콘과 이산화실리콘을 증착시킬 수 있는 장비다.

이 장비는 5개가 표준인 공정 체임버를 6개로 확장했으며 새로운 로봇 디자인으로 진공 반송 체임버의 공간을 절약했다.

특히 큰 유리기판임에도 기존 장비와 비슷한 최대 50장의 원판유리를 처리할 수 있다고 AKT측은 밝혔다. 본격적인 시판 시점은 내년 2분기로 잡혔다.

AKT는 또 저온폴리실리콘 TFT LCD 생산에 쓰는 CVD 체임버 기술을 개발, 기존 CVD장비에 적용해 내년 1분기중 출시할 계획이라고 밝혔다.

이 기술은 여러층의 다른 막을 동일한 체임버에 증착할 수 있고 독립된 열처리 체임버를 통해 예열 및 증착 후 후열처리가 가능하며 증착막내 수소량을 감소시킨다. 이로써 엑시머레이저 애닐링 공정에서 폴리실리콘 결정화에 걸리는 시간을 크게 단축할 수 있다는 것이 AKT의 주장이다.

캠 로 AKT 사장은 『평판디스플레이의 수요확산에 대응해 관련 차세대 장비를 개

발해왔으며 관련 투자를 서두르는 한국을 비롯한 TFT LCD 업체에 적기 공급체제를 갖출 방침』이라고 말했다.

이에 대해 국내 TFT LCD 업계 관계자들은 『한국을 시작으로 TFT LCD 업계에서 5세대 라인과 저온폴리실리콘 투자를 확대하고 있어 관련 장비 수요도 앞으로 급증할 것』이라면서 국내 장비업체들도 이에 적극적으로 대응해야 한다고 지적했

다.

<신화수기자 hsshin@etnews.co.kr>