[SEDEX KOREA 2000]출품업체(앞공정 부문)-선익시스템

반도체·전자부품 제조용 장비업체인 선익시스템(대표 손명호 htp://www.sunic.co.kr)은 반도체 소자용 유전체(capacitor) 제조공정용 유기금속 화학증착(MOCVD)장비 및 진공박막코팅장비인 스퍼터(sputter) 장비를 출품한다.

이번에 출품하는 BST/PZT MOCVD공정장비는 차세대 반도체 소자용 유전체 및 전극 박막 제조용 MOCVD 장비다. 이 회사는 D램용 BST 유전체 증착 공정용 장비와 Fe램용 PZT 유전체 증착 공정장비 시제품를 각각 구 LG반도체 및 삼성종합기술원과 공동 개발했으며 현재 양산공정에 적합한 장비를 개발중이다. 전극으로 Ru/RuO₂를 이용하고 있다.

또한 이같은 기술을 바탕으로 개발한 세라믹 리조네이터(Ceramic Resonator), SAW 필터, 크리스털 오실레이터(oscillator)와 같은 통신용 부품 제조공정에 사용되는 스퍼터도 이 회사의 주력품목이다.

세라믹 리조네이터 제조용 스퍼터의 경우 수동(manual)형으로 시스템 안정성과 균일도(uniformaity), 가격 경쟁력을 갖추고 있으며 지금까지 삼성전기 등에 공급됐다. 이 회사가 삼성전기와 해외업체에 공급한 SAW 필터용 스퍼터는 1%의 균일도를 갖춘 게 특징이며, 아울러 크리스털 오실레이터용 스퍼터도 높은 생산성과 균일도를 제공한다. 이외에 이 회사는 주문형반도체(ASIC) 생산용 SiO₂, Si₃N₄ 성막 장치도 패널 형태로 소개한다.