반도체 재료업계, 장비분야로 영토확장

반도체 관련 재료·부품 생산업체들이 반도체 제조공정용 장비사업에 잇따라 신규 진출하고 있다.

11일 관련업계에 따르면 기림쎄미텍·화인반도체기술·피케이엘 등은 반도체 제조공정에 들어가는 부품과 재료를 생산, 유지보수하면서 축적한 기술력과 노하우를 바탕으로 반도체·액정표시장치(LCD) 장비를 자체 개발하거나 출시하고 있다.

반도체 제조용 식각장치(에처)에 들어가는 음극(cathode) 등을 전문 생산해온 기림세미텍(대표 이정기 http://kirim-s.com)은 차세대 300㎜ 웨이퍼 제조용 건식 식각장치 개발에 나섰다.

이 회사는 이를 위해 경기도 화성 공장에 클린룸 설비 구축과 개발인력을 확보하고 한국과학기술연구원(KIST)과 공동개발에 들어갔다.

이정기 사장은 『그동안 에처에 들어가는 핵심부품을 오랫동안 생산하면서 쌓은 기술과 노하우를 바탕으로 대부분 수입에 의존하고 있는 반도체 제조 전공정 장비 개발에 승부를 걸 계획』이라면서 『내년 상반기중으로 시제품을 선보일 방

침』이라고 말했다.

반도체 관련 포토마스크 보호용 박막인 펠리클(pellicle)을 생산하는 화인반도체기술(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)은 최근 반도체 제조장비용 자동온도조절장치인 열전소자 방식의 칠러(chiller)를 개발하고 양산에 들어갈 예정이다.

아울러 이 회사는 최근 독일의 람다피지크(Lambda Physik)와 엑시머레이저 공급장치의 국내판매 계약을 맺고 이 시장에 뛰어들었다.

장명식 사장은 『이를 계기로 레이저 소스에 대한 국내 자체기술력을 확보해 앞으로 국내에서 장치를 생산하는 방안도 협의중』이라고 말했다.

반도체용 포토마스크를 생산하는 피케이엘(대표 정수홍 http://www.pkl.co.kr)도 이 분야에서의 오랜 사업경험을 바탕으로 포토마스크 공정용 건식 식각장치를 비롯해 화학증착장비, 마스크 세정장비, 실리콘·LCD 공정의 CFM을 개발하거나 생산에 나설 방침이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>