아이피에스, 반도체 ALD장비 수출 나선다

반도체 제조용 장비 생산업체인 아이피에스(IPS·대표 이용한 http://www.ips-tech.com)가 차세대 반도체 제조용 박막증착장비인 원자층증착(ALD : Atomic Layer Deposition) 공정장비의 수출을 본격 추진하고 있다.

이 회사는 최근 미국의 세계적인 반도체 장비업체인 실리콘밸리그룹(SVG)과 ALD 공정장비 판매를 위한 양해각서(MOU)를 교환했다고 26일 밝혔다.

이 회사 관계자는 『이번 SVG와의 양해각서 교환에 이어 다음달 초에 ALD장비 판매 및 공동 기술개발을 위한 정식 계약을 체결할 예정』이라고 말했다.

이에 따라 아이피에스는 SVG가 보유한 전세계 판매·서비스망을 통해 ALD장비를 판매하는 한편, ALD부문 공동 기술개발도 추진하기로 했다.

아이피에스가 수출할 ALD 공정장비는 지난 3년동안 150억원을 투입해 삼성전자와 공동으로 개발한 장비로 저온에서 단독 가스공급을 통해 불순물 함유가 적은 우수한 박막을 증착함으로써 기가급 메모리는 물론 초고속 데이터 처리가 요구되는 차세대 비메모리 반도체 제조에 필수적인 장비다.

한편, 이 회사는 이번 ALD 공정장비를 올해 말쯤 삼성전자의 반도체 양산라인에 첫 공급할 계획이다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>